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德国Tectra石英晶体监测系统MTM-10

  • 发布日期:2019-05-15 21:06
  • 有效期至:长期有效
  • 招商区域:全国
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详细说明
 德国Tectra石英晶体监测系统MTM-10

特高压电动机

转矩额定值为70mNm至800mNM的高转矩特高压步进电动机,适用于1E-10mbar以下,可焙烧至200°C,工作温度范围为-65°C至+175°C。

原子源

特别设计的孔板可以抑制离子从等离子体中逸出,但允许反应性中性粒子逸出并形成主要的束流分数。发射的粒子主要通过穿过孔的多次碰撞而被热化。这些中性物质已被证明是非常有效的低损伤表面处理,如氮化和氧化(1,2)。进一步添加离子陷阱选项可以完全去除可能引起关注的束中的残余离子含量。

石英微天平

MTM-10石英晶体监测系统是一种测量沉积过程中薄膜厚度的可靠系统。它的目的是手动控制沉积过程。控制器能够存储两种不同材料和两种工具因素的物理特性。超高压和高压两种版本都使用相同的6MHz振荡器和高精度石英微天平控制器,提供0,1nm的分辨率(在0.5g/cm密度x加工因子2)。更新率为5赫兹。

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